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工作原理与介绍 

 

    蓝宝石(Sapphire)的组成为氧化铝(Al2O3)，是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成,其晶体结构为六方晶格结构.它常被应用的切面有A-Plane,C-Plane及R-Plane。由于蓝宝石的光学穿透带很宽,从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性。因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上，它具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高（2045℃）等特点，它是一种相当难加工的材料，因此常被用来作为光电元件的材料。目前超高亮度白/蓝光LED的品质取决于氮化镓磊晶(GaN)的材料品质，而氮化镓磊晶品质则与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关，蓝宝石(单晶Al2O3 )C面与Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小，同时符合GaN 磊晶制程中耐高温的要求，使得蓝宝石晶片成为制作白/蓝/绿光LED的关键材料。

蓝宝石需要在钨或钼材质的成型坩埚或热压烧结坩埚中进行高温生长，此外，我们还提供不同需求的热场, 隔热屏, 加热器和不计其数的高温炉零部件。

优点：

  • 蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好
  • 蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中
  • 蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗
 
常用晶体生长方法:
 

  • Czochralski Method (柴氏拉晶法，又称为提拉法)：Pull from the melt.

  • Kyropoulos Method (凯氏长晶法，又称为泡生法): Dip and turn.

  • 温度梯度法(TGT法)

  • EFG Method (导模法，Edge Defined Film-fed Growth): Pull through die.

  • 热交换法(Heat Exchange Method，HEM)

  • 垂直水平温度梯度冷却法(Vertical Horiaontal Gradient Freezing，VHGF): 韩国Sapphire Technology Company (STC)技术。

  • ES2-GSA长晶法：美国Rubicon Technology Inc.技术。

    由于钨钼具有耐高温、低污染等特性，被广泛用来做蓝宝石长晶炉的热场部件，包括钨坩埚/钼坩埚、发热体、钨筒、隔热屏、支撑、底座、籽晶杆、坩埚盖等。发热体采用鸟笼结构钨发热体或者钨网发热体，有利于提供均匀稳定的温场。
    迈科为客户提供优质的30Kg、60Kg、85Kg、120Kg全套蓝宝石长晶炉热场及热场中的钨钼部件。

 

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